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半導体製造装置とは?
-マシニングセンタで加工される
半導体製造装置部品をご紹介-
公開日:2025.07.08
私たちの生活を支えるスマートフォンや家電製品、自動車には、欠かせない部品が存在します。それが「半導体」です。
半導体は、電気を通す部分と通さない部分を切り替えることで、電子機器の頭脳とも言える役割を果たします。
本記事では、この半導体を作り上げる「半導体製造装置」に必要な部品について解説します。
半導体製造装置とは?
半導体製造装置は、私たちの生活を支える電子機器に不可欠な「半導体」を作るために使用される装置の総称です。半導体は、スマートフォンや家電、自動車、さらには医療機器に至るまで、幅広い用途で利用される重要な部品であり、その製造には非常に高度な技術と精密な工程が必要です。
半導体製造装置の役割
半導体製造装置には、製造工程ごとに精密な加工を可能とする技術が集約されています。 それぞれの装置は、専門的な役割を果たすとともに、互いに連携して半導体を完成させます。
また、半導体製造装置は「クリーンルーム」での運用が必須です。クリーンルームは、微粒子や汚染物質が極限まで排除された空間であり、半導体の製造品質を保つために欠かせません。わずかなホコリやゴミが製品不良の原因となるため、製造現場には徹底した管理体制が求められます。
半導体製造装置は、高度な加工技術を備え、厳重な管理下で運用されることで、私たちの生活に欠かせない半導体チップの量産を実現しています。
半導体の製造工程
半導体の製造は、数多くの複雑な工程を経て進められます。主に「設計工程」「前工程」「後工程」の3つの段階に分けられます。
- 設計工程
設計工程では、半導体チップの基盤となるシリコンウェハに形成する回路を設計し、それを転写するためのフォトマスクを作成します。この段階は、製品性能を決定づける重要な工程です。
- 前工程
前工程は、シリコンウェハに回路を作り込むプロセスです。ここでは微細な加工が求められるため、高精度な装置が使用されます。
- 後工程
後工程では、完成したウェハをチップ単位に切り出し、組み立てと検査を行います。最終的に製品として仕上げる重要な段階です。
マシニングセンタで加工される
半導体製造装置の部品
ブラケット・搬送装置部品
ICソケット検査治具部品
ICソケットは半導体チップの後工程検査で使用されます。1つずつ検査もできますし、1つのソケットで複数個を1度に検査することもできます。
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円盤プレート
ガスを噴射するシャワープレートやシリコンウェハを固定する治具などに用いられます。
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半導体製造装置
(チップマウンター)用部品
チップマウンターは、電子部品の自動実装工程に使われる装置です。プリント基板上に小型の電子部品を高速かつ高精度に自動で配置します。
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バルブ部品
半導体製造装置で高真空、高純度ガスを利用した工程では、オイルフリーで外部リークのないバルブが使用されます。
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樹脂ポンプボディー
半導体洗浄装置に使用される部品です。洗浄水に不純物が入るのを防ぐため、部品もクリーンであることが要求されます。
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アルミケース
計測装置やセンサ装置、またチャンバーなどに用いられます。
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半導体製造装置の重要性
半導体製造装置は、現代社会において極めて重要な役割を果たしています。私たちが日常的に使用するスマートフォンや家電製品、自動車、さらには医療機器に至るまで、あらゆる分野で半導体が必要とされています。
この需要の高まりを支えるのが半導体製造装置です。
近年、IoTやAI、5G通信といった新技術の普及に伴い、半導体の需要が急増しています。とくにAI技術の進展により、高性能な半導体の需要が一段と高まりこれに比例して製造装置の需要も拡大しています。
また、製造装置は単なる生産機械ではなく、半導体の性能を大きく左右する重要な技術要素を含んでいます。微細加工技術や高純度環境の維持など、製造装置自体の技術革新が、半導体の品質向上に直結しているのです。
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文:河井ひとみ
1979年生まれ。国立工業高専卒業後、ソフトカプセルOEMメーカーに入社し、品質管理・品質保証職を経験。化粧品会社への転職を経て、2020年にフリーライターへ転身。製造業関連のBtoB記事はじめ、SaaS関連記事やホワイトペーパーなど幅広いコンテンツを手がけています。
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編集:株式会社イージーゴー
WEBコンテンツ、紙媒体、動画等の企画制作を行う編集制作事務所です。ライターコミュニティ「ライター研究所」も運営しています。
https://eggo.jp/
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